يشير رش الهدف، باعتباره التكنولوجيا الأساسية لهندسة الأسطح وتكنولوجيا الأغشية الرقيقة، إلى استخدام الأيونات أو الجسيمات المشحونة الأخرى لضرب الهدف في حالة طاقة عالية، وبالتالي تحفيز نقل الطاقة الحركية ونقل المواد للذرات أو الجزيئات المستهدفة . تنفصل الذرات أو الجزيئات المثارة عن السطح المستهدف وتترسب على الركيزة بحركة عالية السرعة، لتشكل طبقة رقيقة ذات بنية موحدة أو محددة.
1. التصنيف
(1) الاخرق العاصمة
المبدأ: يستخدم رش التيار المستمر مصدر طاقة مستمر كمصدر للطاقة، وهو مناسب بشكل أساسي للأهداف ذات الموصلية الجيدة، مثل المعادن.
الميزات: لديها مزايا المعدات البسيطة والتشغيل السهل ومعدل الترسيب العالي. ولا ينطبق هذا على المواد العازلة، حيث أنها لا تستطيع إنشاء نقل فعال للشحنة.
(2) ترددات الراديو الاخرق
المبدأ: يستخدم رش الترددات الراديوية طاقة الترددات الراديوية (عادةً في نطاق ميغاهيرتز) بحيث يمكن أيضًا رش المواد غير الموصلة (مثل السيراميك والأكاسيد).
الميزات: قادرة على رش المواد العازلة مع توحيد الترسيب العالي. ومع ذلك، نظرًا لإمدادات الطاقة المعقدة ونظام التحكم، فإن التكلفة وصعوبة الصيانة مرتفعة نسبيًا.
(3) الاخرق المغنطروني
المبدأ: استنادًا إلى الرش التقليدي، يتم إنشاء مجال مغناطيسي عن طريق وضع مغناطيس بالقرب من الهدف، وبالتالي تعزيز كثافة واستقرار البلازما.
الميزات: تحسين كفاءة الاخرق وجودة الفيلم، وانخفاض الاستهلاك المستهدف. يمكن أن يعمل عند ضغط هواء منخفض، وبالتالي يقلل من تأثير جزيئات الغاز على الفيلم.
(4) الاخرق رد الفعل
المبدأ: أثناء عملية الرش، يتم إدخال الغازات التفاعلية (مثل الأكسجين والنيتروجين) إلى جو العمل لتتفاعل كيميائيًا مع الذرات المستهدفة لتكوين فيلم مركب.
المميزات: يمكن تحضير مجموعة متنوعة من الأفلام المركبة، مثل الأكاسيد، والنيتريدات، والكربيدات، وما إلى ذلك. ومع ذلك، فإن التحكم معقد ويتطلب تعديلًا دقيقًا لمعدل التدفق وضغط الغاز التفاعلي.
(5) نبض المغنطرون عالي الطاقة
المبدأ: استخدم مصدر طاقة نبضي عالي الطاقة لتوليد بلازما عالية الكثافة لفترة قصيرة من الوقت لزيادة معدل الاخرق.
الميزات: يمكن الحصول على أفلام أكثر سلاسة وكثافة. ولكن بسبب الاستخدام العالي للطاقة، تصبح الإدارة الحرارية ومتانة الجهاز تحديًا.
2.التطبيق
(1) صناعة أشباه الموصلات
تُستخدم تقنية الاخرق لترسيب طبقات موصلة وعازلة ودرعية تعتبر ضرورية لتصنيع الدوائر المتكاملة عالية الأداء والأجهزة الإلكترونية الدقيقة.
(2) التطبيقات البصرية
المرايا والطلاءات المضادة للانعكاس: يمكن استخدام الأغشية الرقيقة المحضرة بتقنيات الرش لتصنيع مجموعة متنوعة من المكونات البصرية مثل العدسات والعدسات والمرايا في أنظمة الليزر. غالبًا ما يتم أيضًا تحضير الطبقة الممتصة للضوء والطبقة الموصلة في الخلايا الشمسية عن طريق الرش.
(3) طلاء ديكور
صناعات السيارات والبناء: تُستخدم الأغشية المرقطة في الطلاءات الزخرفية على أجزاء السيارات ومواد البناء، ولا توفر مظهرًا جماليًا فحسب، بل تزيد أيضًا من مقاومة المواد للتآكل والتآكل. غالبًا ما تستخدم الأغلفة والأجزاء المزخرفة للإلكترونيات الاستهلاكية مثل الهواتف المحمولة وأجهزة الكمبيوتر تقنية الاخرق لتغليف الأفلام المقاومة للتآكل والجميلة.
(4) أفلام وظيفية خاصة
يمكنه ترسيب صلابة عالية وأغشية مقاومة للتآكل على أسطح الأدوات والقوالب لإطالة عمر الأداة. علاوة على ذلك، يمكن استخدام الأفلام المتناثرة لضبط نفاذية الضوء في تكنولوجيا النوافذ الذكية للمباني والسيارات.
(5) مجال الطب الحيوي
يتم عمومًا ترسيب الأفلام المتوافقة حيويًا عن طريق تقنيات الرش لتعزيز توافق المفاصل الاصطناعية أو زراعة الأسنان مع جسم الإنسان.
يمكن أن توفر FANMETAL للعملاء العديد من أهداف الرش المعدنية، مثل أهداف الرش المصنوعة من الألومنيوم والتيتانيوم، وأهداف التنغستن وأهداف رش معدن الكروم، وما إلى ذلك.
