+8613140018814

المتطلبات الفنية لتصنيع أهداف التيتانيوم

Jun 19, 2023

1. الطهارة
نقاء هدف التيتانيوم له تأثير كبير على خصائص الأفلام المتناثرة. كلما زادت درجة نقاء الهدف، قلت جزيئات عنصر الشوائب في الفيلم المرشوش، وكان أداء الفيلم أفضل (مثل مقاومة التآكل، والخصائص البصرية والكهربائية). في التطبيقات العملية، تختلف متطلبات نقاء أهداف التيتانيوم لأغراض مختلفة. . على سبيل المثال، متطلبات النقاء للأهداف الخاصة بالطلاءات الزخرفية العامة ليست متطلبة، في حين أن الأهداف الخاصة بالدوائر المتكاملة وأجسام العرض والمجالات الأخرى لديها متطلبات أعلى بكثير للنقاء، بشكل عام حوالي 99.999 بالمائة أو أعلى.

2. متوسط ​​حجم الحبوب
عادةً ما يكون لهدف التيتانيوم هيكل متعدد البلورات، ويمكن أن يتراوح حجم الحبيبات من ميكرون إلى مليمتر. معدل الاخرق لهدف الحبوب الدقيقة الحجم أسرع من هدف الحبيبات الخشنة. إن توزيع سماكة الفيلم المترسب بالرش يكون أيضًا موحدًا نسبيًا. مطلوب بشكل عام أن يكون متوسط ​​حجم حبيبات أهداف التيتانيوم للدوائر المتكاملة في حدود 30 ميكرومتر، ومتوسط ​​حجم حبيبات أهداف التيتانيوم متناهية الصغر أقل من 10 ميكرومتر.

3. التوجه البلوري
يحتوي التيتانيوم على هيكل سداسي متماسك. أثناء الرش، يتم رش ذرات التيتانيوم المستهدفة بسهولة على طول اتجاه الترتيب السداسي للذرات. ولذلك، من أجل تحقيق أعلى معدل الاخرق، فمن الممكن زيادة معدل الاخرق عن طريق تغيير البنية البلورية للهدف. معدل الاخرق. اتجاه التبلور لهدف التيتانيوم له أيضًا تأثير كبير على توحيد سماكة طبقة الفيلم المتناثرة، وحجم الفيلم للشاشة المسطحة والطلاء الزخرفي سميك نسبيًا، وبالتالي فإن متطلبات اتجاه الحبوب لهدف التيتانيوم المقابل هي منخفضة نسبيا.

4. الهندسة والحجم
وينعكس ذلك بشكل أساسي في دقة المعالجة وجودة المعالجة، مثل حجم المعالجة، وتسطيح السطح، والخشونة، وما إلى ذلك. سيؤثر السماكة الصغيرة على عمر خدمة الهدف؛ سطح الختم الخشن للغاية وأخدود الختم سوف يسبب مشاكل في الفراغ بعد تثبيت الهدف؛ يمكن أن يؤدي تخشين سطح الهدف المتناثر إلى جعل سطح الهدف مليئًا بالنصائح البارزة، تحت تأثير تأثير الطرف، سيتم زيادة إمكانات هذه النصائح المرتفعة بشكل كبير، وبالتالي كسر التفريغ العازل. ومع ذلك، فإن النتوء الكبير جدًا يضر بجودة واستقرار الرش.

يمكن لشركتنا توفير سبائك التيتانيوم مثلأهداف تفل الألمنيوم من التيتانيوموهدف الاخرق من التيتانيوم تي، بالإضافة إلى أهداف التيتانيوم ذات النقاوة والشكل المختلفة، كما تقبل أيضًا الخدمات المخصصة. إذا لزم الأمر، يرجى الاتصال بنا عن طريق البريد الإلكتروني.

Titanium Alloy Metal Sputter Target

Titanium Zirconium Alloy Sputtering Targets

إرسال التحقيق