طلاء التبخر الفراغي هو استخدام التسخين المقاوم أو شعاع الإلكترون والقصف بالليزر لتسخين المادة المراد تبخيرها إلى درجة حرارة معينة في بيئة بدرجة فراغ لا تقل عن 10-2Pa، بحيث تكون طاقة الاهتزاز الحراري تتجاوز الجزيئات أو الذرات الموجودة في المادة السطح. تتسبب طاقة الارتباط في تبخر أو تسامى عدد كبير من الجزيئات أو الذرات، وترسب مباشرة على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة.
الطريقة الأكثر استخدامًا لطلاء التبخر الفراغي هي التسخين بالمقاومة، والذي يتميز بمزايا الهيكل البسيط لمصدر التسخين، والتكلفة المنخفضة والتشغيل المريح. العيب هو أنها غير مناسبة للمعادن المقاومة للحرارة والمواد العازلة المقاومة لدرجات الحرارة العالية.
يستخدم طلاء الرش الأيوني الحركة عالية السرعة للأيونات الموجبة الناتجة عن تفريغ الغاز لقصف الهدف باعتباره الكاثود تحت تأثير المجال الكهربائي، مما يتسبب في هروب الذرات أو الجزيئات الموجودة في الهدف وترسبها على سطح قطعة العمل المطلية لتشكيل الفيلم المطلوب. .
تكنولوجيا الاخرق تختلف عن تكنولوجيا التبخر الفراغي. يشير مصطلح "الاخرق" إلى الظاهرة التي تقصف فيها الجسيمات المشحونة سطحًا صلبًا (هدفًا)، مما يتسبب في قذف الذرات أو الجزيئات الصلبة من السطح. معظم الجسيمات المقذوفة تكون في الحالة الذرية، وغالبًا ما تسمى الذرات المتفلة. يمكن أن تكون الجسيمات المتطايرة المستخدمة لقصف الهدف عبارة عن إلكترونات أو أيونات أو جسيمات محايدة. ونظرًا لسهولة تسريع الأيونات للحصول على الطاقة الحركية المطلوبة تحت مجال كهربائي، تُستخدم الأيونات في الغالب كجسيمات قصف. تنشأ جميع الأيونات المتناثرة من تفريغ الغاز.
تستخدم تقنيات الرش المختلفة طرق تفريغ مختلفة. يستخدم رش الصمام الثنائي DC تفريغ DC. يستخدم الاخرق ثلاثي القطب التفريغ المدعوم بكاثود ساخن؛ يستخدم تفريغ الترددات الراديوية تفريغ الترددات الراديوية؛ يستخدم الرش المغنطروني التفريغ الذي يتم التحكم فيه بواسطة مجال مغناطيسي حلقي.
طلاء الاخرق له العديد من المزايا على طلاء التبخر الفراغي. على سبيل المثال، يمكن أن تتطاير أي مادة، خاصة العناصر والمركبات ذات نقطة انصهار عالية وضغط بخار منخفض. الالتصاق بين الفيلم المتناثر والركيزة جيد؛ كثافة الفيلم عالية. يمكن التحكم في سماكة الفيلم وقابلية التكرار جيدة، وما إلى ذلك. العيب هو أن المعدات معقدة نسبيًا وتتطلب معدات عالية الجهد.
وبطبيعة الحال، فإن مزايا طريقة الطلاء الأيوني التي تجمع بين التبخر والرش هي أن لديها التصاق قوي للغاية بين الفيلم والركيزة، ولها معدل ترسيب مرتفع، ويمكن أن تنتج أفلام عالية الأداء لاستخدامها في الأجهزة الإلكترونية. صناعة تجهيز المعادن ومستلزمات الديكور.
