طلاء الرش المغنطروني هو نوع جديد من طريقة الطلاء بالبخار الفيزيائي ، والذي يستخدم نظام مدفع إلكتروني لإصدار وتركيز الإلكترونات على المادة المراد تغليفها ، بحيث تتبع الذرات المتناثرة مبدأ تحويل الزخم ، بحيث تكون المادة ذات ميكانيكية أعلى ملكيات. تسمى المادة المراد طلاؤها هدف الرش ، والذي يتضمن بشكل أساسي المعادن والسبائك ومركبات السيراميك. يمكن أن توفر FANMETAL للعملاء أهدافًا معدنية عالية الجودة مثلالهدف الاخرق الكروم النقيالهدف الاخرق الذهبيالهدف الاخرق الألومنيوم التيتانيوموالهدف رش النحاس. يرجى إرسال بريد إلكتروني إلينا لإخبارنا باحتياجاتك.
1. النقاء
النقاء من أهم مؤشرات أداء الهدف ، لأن نقاء الهدف له تأثير كبير على أداء الفيلم. ومع ذلك ، في التطبيقات العملية ، تختلف متطلبات نقاء الهدف أيضًا. على سبيل المثال ، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة ، نما حجم رقائق السيليكون من 6 "، 8" إلى 12 "، وتم تقليل عرض الأسلاك من 0. 5 ميكرومتر إلى 0 .25um ، 0. 18um أو حتى 0. 13um. النقاء الهدف السابق كان 99.995 بالمائة ويمكنه تلبية متطلبات العملية لـ 0. 35um IC ، أثناء إعداد {{15 }} تتطلب خطوط 18um 99.999٪ أو 99.9999٪ من نقاء الهدف.
2. محتوى النجاسة
الشوائب في المادة الصلبة المستهدفة والأكسجين والرطوبة في المسام هي مصادر التلوث الرئيسية للفيلم المترسب. المواد المستهدفة لأغراض مختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتويات شوائب مختلفة. على سبيل المثال ، أهداف الألومنيوم وسبائك الألومنيوم النقية المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى الفلزات القلوية ومحتوى العناصر المشعة.
3. الكثافة
من أجل تقليل المسام في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين أداء الفيلم المتطاير ، عادة ما يكون الهدف مطلوبًا أن يكون له كثافة أعلى. لا تؤثر كثافة الهدف على معدل الرش فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم. كلما زادت كثافة الهدف ، كان أداء الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك ، فإن زيادة كثافة وقوة الهدف يجعل الهدف أكثر قدرة على تحمل الإجهاد الحراري أثناء عملية الرش. تعد الكثافة أيضًا أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف.
4. حجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب
عادة ما تكون المادة المستهدفة عبارة عن هيكل متعدد البلورات ، ويمكن أن يتراوح حجم الحبوب من ميكرونات إلى ملليمترات. بالنسبة للمادة المستهدفة نفسها ، يكون معدل رش الهدف بالحبوب الدقيقة أسرع من معدل الحبيبات الخشنة للهدف ؛ ويكون توزيع سمك الفيلم المترسب عن طريق الرش بفارق أصغر في حجم الحبوب (توزيع موحد) أكثر اتساقًا.
