من الناحية الهيكلية، يتكون الهدف بشكل أساسي من جزأين: "الهدف الفارغ" و"اللوحة الخلفية". الهدف الفارغ هو المادة المستهدفة التي يتم قصفها بواسطة شعاع أيوني عالي السرعة. إنه الجزء الأساسي من هدف الرش ويتضمن التحكم في اتجاه المعدن والحبوب عالي النقاء. تلعب اللوحة الخلفية بشكل أساسي دور تثبيت هدف الرش وتتضمن عملية اللحام. في الوقت الحاضر، تشتمل مواد اللوح الخلفي المستهدف للرش بشكل أساسي على النحاس الخالي من الأكسجين وسبائك النحاس والموليبدينوم ومواد اللوح الخلفي لأنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ.
1. أسباب تثبيت اللوحة الخلفية
تتكون المجموعة المستهدفة من هدف فارغ مع أداء رش مركب ولوحة معززة مدمجة مع الهدف الفارغ عن طريق اللحام. أثناء عملية الرش، يكون التجميع المستهدف في بيئة عمل قاسية. يتم تبريد جانب واحد من اللوحة الإلكترونية المعززة بقوة عن طريق ضغط معين من ماء التبريد، في حين أن جانب واحد من الفراغ المستهدف يكون في بيئة فراغية ذات درجة حرارة عالية، لذلك يتم تشكيل فرق ضغط كبير على الجانبين المتقابلين من المجموعة المستهدفة. بالإضافة إلى ذلك، يتم قصف جانب واحد من الهدف بواسطة جزيئات مختلفة في مجال كهربائي عالي الجهد ومجال مغناطيسي قوي، ويتم توليد الكثير من الحرارة.
في مثل هذه البيئة القاسية، من أجل ضمان استقرار جودة الفيلم وجودة التجميع المستهدف، أصبحت جودة الخام المستهدف واللوحة الإلكترونية المعززة ومعدل ربط اللحام أكثر تطلبًا، وإلا فمن السهل القيادة إلى تشوه وتشقق المجموعة المستهدفة في ظل الظروف الحارة، مما يؤثر على جودة الفيلم وحتى يسبب ضررًا لقاعدة الرش.
2. المواد اللازمة لتصنيع لوحة الكترونية معززة
يتم استخدام اللوحة الخلفية بشكل أساسي لإصلاح المادة المستهدفة المترشقة وتحتاج إلى توصيل كهربائي وحراري جيد. أثناء عملية الطلاء بالرش المغنطروني، يجب أن يتحمل الهدف كلاً من ضغط ماء التبريد في الخلف والضغط السلبي للفراغ في المقدمة. غالبًا ما يتم اختيار اللوحات الخلفية المصنوعة من النحاس وسبائك النحاس كألواح أساسية مستهدفة لأنها تتمتع بالمزايا التالية:
(1) الموصلية الحرارية العالية: يمكنها توصيل الحرارة المتولدة على السطح المستهدف بشكل فعال أثناء عملية الرش إلى نظام التبريد. يساعد هذا في الحفاظ على استقرار درجة حرارة الهدف ويمنع تشقق الهدف أو تدهور الأداء بسبب ارتفاع درجة الحرارة.
(2) لديه موصلية كهربائية عالية: يمكنه تحسين كفاءة التوصيل الحالي أثناء عملية الرش. وهذا يساعد على تقليل فقدان المقاومة بين الهدف ونظام الرش المغنطروني، وبالتالي تحسين كفاءة الرش.
(3) قوة ميكانيكية عالية: يمكن أن توفر دعمًا مستقرًا. يساعد هذا على ضمان عدم تشقق الهدف بسبب الاهتزاز أو الضغط أثناء عملية الرش.
(4) الرش الموحد: يمكن للوحة الخلفية النحاسية تحسين توزيع المجال الكهرومغناطيسي للهدف، وبالتالي تحقيق المزيد من الرش المنتظم وتحسين توحيد الفيلم.
(5) إطالة عمر خدمة الهدف: نظرًا للتوصيل الحراري العالي والتوصيل الكهربائي للوحة الداعمة النحاسية، يمكن تقليل درجة حرارة التشغيل وفقدان المقاومة للهدف، وبالتالي إبطاء تآكل الهدف وتمديده خدمة الحياة.
3. عملية ربط لوحة الكترونية معززة
(1) المعالجة المسبقة لسطح الهدف والهدف الخلفي قبل الربط؛
(2) ثبت الهدف الخلفي على طاولة التسخين، ثم ضع الهدف على اللوحة الخلفية، وقم بتسخينه إلى درجة حرارة الربط؛
(3) معدنة الهدف والهدف الخلفي، ولحام الهدف باللوحة الخلفية النحاسية؛
(4) ربط الهدف والهدف الخلفي، ووضع ثقل الموازنة على سطح الهدف بعيدًا عن لوحة الدعم النحاسية، وإزالة ثقل الموازنة بعد أن يبرد الهدف؛
(5) التبريد بعد المعالجة.
